氦分光仪泄漏（，英语：Securious security）是一种气体工业术语，使用氦或氢作为泄漏气体和气体分析器，检测出氦是否泄漏。密封测试仪又叫包装检漏仪，是生产、加工企业专门用来检测食品、乳制品以及制药行业的包装袋、瓶子、罐子等容器密封性的仪器，从而保证产品不会因为包装泄漏而产生质量问题（有些泄漏点是肉眼看不到的），延长产品的货架期。主要用于适用于食品、制药、医疗器械等行业的包装袋、瓶、管、罐、盒等的密封试验。亦可进行包装件封口质量分析。软袋密封测试仪气密测漏仪仪器配合工装夹具（甲方提供）使用，人工（或自动）放工件置定位工装上，设备按键启动，气密检测仪充压检测（中间过程可以根据要求设置保压时间0-999s），判定工件合格与否，将信号给仪器处理系统并确定是否报警。氦的背景噪声低，分子量和黏度系数小，因此容易通过漏孔，容易扩散。此外，氦气是一种不腐蚀设备的惰性气体，因此氦气常被用作泄漏气体。气体被喷洒到与气体分析仪连接的被检查容器上（仅根据氦气反应的工作状态调整）。如果容器有一个泄漏孔，分析器就会反应，知道泄漏孔的位置和泄漏量。尺寸。

1氦质谱仪检漏真空系统。

由氦真空系统的一部分泄漏分子泵，机械前级泵。

在常规试验中，被试件通常由前机械泵预抽真空。当真空度达到一定压力时，进入真空系统。试验前，要求被试件进行清洁预处理，防止灰尘、颗粒物等污染物进入真空系统。否则会直接污染真空系统，甚至损坏真空泵。因此，对被试件进行清洗前的管理和设备的定期维护清洗显得尤为重要。

2设备自身保养小知识

(1)定期更换机油，并对前真空泵进行深度维护;

(2)超声波清洗电磁阀组；

（3）质谱组件超声波清洗及分子泵定期维护。